什么是气相沉积法
答案:1 悬赏:10
解决时间 2021-10-17 14:16
- 提问者网友：蓝琪梦莎
- 2021-10-16 20:10
什么是气相沉积法
最佳答案
- 二级知识专家网友：舍身薄凉客
- 2021-10-16 21:24
化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积(LPCVD)和等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺。 化学气相沉积主要是以末种化合物,为反应气体,在一定的保护气氛下反应生成单质原子并沉积在加热的衬底上，衬底材料一般选用次单质或其稳定化合物等。
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