半导体工艺里的特征图形尺寸指的是什么的尺寸？是一个最小cell的尺寸吗？还是互联线的宽度？
答案:1 悬赏:40
解决时间 2021-10-17 20:01
- 提问者网友：浮克旳回音
- 2021-10-17 13:27
半导体工艺里的特征图形尺寸指的是什么的尺寸？是一个最小cell的尺寸吗？还是互联线的宽度？
最佳答案
- 二级知识专家网友：你哪知我潦倒为你
- 2021-10-17 14:17
光刻之后腐蚀后的线宽。 单线的最小宽度。 也就是表示你的工艺线设备能做到什么程度
附：
特征尺寸即CPU表面电路的特征线宽，我们常说的130nm制程、90nm制程指的就是CPU的特征尺寸。特征尺寸越小，单位面积内的晶体管集成度就越高。
在微电子学中，特征尺寸通常指集成电路中半导体器件的最小尺寸，如MOS管的栅长，特征尺寸是衡量集成电路设计和制造水平的重要尺度，特征尺寸越小，芯片的集成度越高，速度越快，性能越好
附：
特征尺寸即CPU表面电路的特征线宽，我们常说的130nm制程、90nm制程指的就是CPU的特征尺寸。特征尺寸越小，单位面积内的晶体管集成度就越高。
在微电子学中，特征尺寸通常指集成电路中半导体器件的最小尺寸，如MOS管的栅长，特征尺寸是衡量集成电路设计和制造水平的重要尺度，特征尺寸越小，芯片的集成度越高，速度越快，性能越好
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