高温热解沉积法和化学气相沉积法有啥不同?
答案:1 悬赏:60
解决时间 2021-10-13 08:31
- 提问者网友：骨子里的高雅
- 2021-10-13 03:07
高温热解沉积法和化学气相沉积法有啥不同?
最佳答案
- 二级知识专家网友：等灯
- 2021-10-13 03:16
气相沉积法 化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料在PECVD和HDPCVD系统中有些方面还特别令人感兴趣是通过调节能量，偏压以及其它
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