由中华人民共和国信息产业部主管、中国电子科技集团公司第四十八研究所主办的《微细加工技术》重点报道国内外以电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等为主的各种微细加工技术在教学、科研、技术、工程和应用等方面的进展与成就，特别是关键工艺的图形光刻、掺杂改性、薄膜生长、超微结构等各种加工技术。《微细加工技术》是国家一级检索刊物，被EI等世界著名检索系统和数据库全文收录，是《中国科学引文数据库》来源期刊，中文科技核心期刊等。刊详细介绍电子束曝光、离子束曝光、X射线曝光、激光束...[详细介绍]