听说半导体行业能用到气体减压器，是半导体行业的哪些设备或者产品要用到呢？设备名称是什么？
答案:1 悬赏:0
解决时间 2021-10-13 23:25
- 提问者网友：欲望失宠
- 2021-10-13 15:19
听说半导体行业能用到气体减压器，是半导体行业的哪些设备或者产品要用到呢？设备名称是什么？
最佳答案
- 二级知识专家网友：愁杀梦里人
- 2021-10-13 16:23
半导体制程的每一步基本都要用到气体, 气体在进入机台前都要经过减压, 而且一个机台几路甚至是十几路气体.
往前端, 从气源到机台这一部分, 叫hook up, 二次配管, 里面也有很多.
再往前, 特气有气柜, 气柜里有减压器. 大宗气体有气站, 气站上也有.
不过, 这些减压器, 全是进口的, 国产没戏, 完全不能用. 既然你管它叫减压器, 想必是国产的才会这么称呼吧.
往前端, 从气源到机台这一部分, 叫hook up, 二次配管, 里面也有很多.
再往前, 特气有气柜, 气柜里有减压器. 大宗气体有气站, 气站上也有.
不过, 这些减压器, 全是进口的, 国产没戏, 完全不能用. 既然你管它叫减压器, 想必是国产的才会这么称呼吧.
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